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无尘室 - 概述

无尘室工程 无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室***主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，

无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100％没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。2、在清洁好的中涂作业面上，用专用的短毛滚筒或毛刷，将面漆材料涂布在地坪上，要求无漏涂、无气泡、无空鼓等现象。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负1面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的***。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于***，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。在FED-STD-2里边，将空气中之尘土、压力、温度、湿度、气流散布之景象及速度，操控于必定范围内之空间』。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

无尘室能耗大的原因

1、无尘室工程净化的送风量大，不同净化级别的无尘室送风量和相同面积的舒适空调送风量的相比是其1.5-55倍，而且送风风压也是其2-3倍，因此送风机的温升耗冷量很大。

2、无尘室空调净化系统的新风量大，一般情况下，新风量等于排风量与正在坟漏风量之和，因此生产工艺排风量大故新风量就很大，因此，新风的热湿处理耗能也就很大。

3、无尘室中的工艺设备和工艺过程发热量大，而且连续两份班制或三班制运行，因此，耗能量也大。

4、无尘室内生产工艺的温、湿度及其精度要求很高、很严，也是能耗大的原因。

无尘车间工程厂家多角度分析FFU的选择

1）FFU机组内的高1效过滤器的初阻力均不相同，大约在120—150Pa之间。

2）当高1效过滤器为初阻力，且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时，不同FFU的机外余压均在100Pa左右，有的高达130Pa。

当FFU送风断面风速为0.45m/s时，各机组的机外余压，都能在60Pa以上。

当FFU送风断面风速为0.45m/s时，被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。

3）FFU的声压级噪声大多在57dB(A)～59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。

4）各不同晶牌的FFU的能耗大多在160～180W，只有个别品牌的能耗大，高达350W是一般能耗的一倍。